微電子技術和計算機科學技術對儀器儀表的巨大促進作用是無可置疑的。新器件的問世、ASIC電路(Application Specific Integrated Circuits)的興起;80年代起，圓片規(guī)模集電路WSI ( Wafer ScaleIntegration)的發(fā)展，在整個硅大圓片的規(guī)模上集成一個完整的電子系統(tǒng)或子系統(tǒng)成為現實;三維集成技術又使芯片上的電路元件呈立體布局;表面封裝技術(SMTSurface Mounting Technology)使電子元器件成為一個無引線或短引線，大小僅有幾毫米的微型元件;DSP芯片、神經網絡芯片的問世和飛速發(fā)展使進30年來已充分發(fā)展的各種信號處理算法; (時域平均、相關分析、數字濾波、平滑技術、頻譜計算等)在儀器設計中得到充分的應用;加上進10多年來對微機械技術(MEMS)的致力研究，使集合微執(zhí)行器、微驅動器、微能源以及微傳感器和控制電路、信號處理裝置等于一體的微型機電系統(tǒng)、微儀器成為可等于一體的微型機電系統(tǒng)、微儀器成為可能。

　　凡此種種，都使儀器儀表不僅在精度方面有了極大的提***，而且在小型化、微型化方面有了很大的發(fā)展。至今，掌上式頻率計數器和頻譜分析儀等已面市，手提式血液分析系統(tǒng)已可取代一套大型生化儀器;手提式微金屬探測儀可方便地監(jiān)測水質…等等。通常，用于元素分析的質譜儀是一臺大型設備，它應具有真空、電離、探測等許多部分，目前已做得如臺式計算機般大小，并已著手向手提式方向發(fā)展。凡此種種，已顯現出微型儀器的發(fā)展趨勢。